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电子湿化学品生产用超纯水很重要

文章出处:编辑:发表时间:2021-09-09 10:52:38

   电子湿化学品又称超净高纯度试剂或工艺化学品,是指主要成分纯度大于99.99%,杂质离子和颗粒数量符合严格要求的化学试剂。它是一种重要的晶圆制造材料。2020年市场规模占4%。高纯度产品主要由上游硫酸、盐酸、氢氟酸、氨、氢氧化钠、氢氧化钾、丙酮、乙醇和异丙醇经预处理、过滤和纯化而成。下游应用主要是光伏太阳能电池、平板显示器和半导体,主要用于清晰度、蚀刻、掺杂、显影、晶圆表面处理、薄膜去除、光刻胶去除等工艺。

  

 

  硼是半导体生产中的一种P型杂质。过量会使N型硅反转,从而影响电子和空穴的浓度。因此,在超纯水工业中应充分考虑硼的去除。电子和半导体工业用超纯水标准指南ASTM-D5127-13要求硼离子≤0.05μg/L。如果硼离子含量能够达到较低的指标,则半导体的性能将得到改善。

  电子湿化学品对清洁水的电导率、离子含量、TOC、DO和颗粒有特别严格的要求。我国常用的超纯水标准有国标《电子级水》(GB/T 11446.1-2013)和美标《电子和半导体行业用超纯水标准指南》ASTM-D5127-13)。美国标准对指标要求更严格。

  Huncotte系统选用核级树脂,可通过独特的靶向离子交换树脂有效控制系统出水的硼离子含量。采用IPC-MS检测硼离子含量,并对硼离子流出物进行分析≤0.005μG/L远低于硼离子的要求≤ASTM-D5127-13标准中E1.3中的0.05μg/L。相信更高质量的超纯水品质可以为电子湿化学品带来更好的性能,为电子湿化学品企业带来更强的优势。

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