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如何清洗晶圆超纯水设备中的EDI浓水室

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2019-12-11 16:12:16

  晶圆超纯水设备中的EDI模块在经过一段时间的使用后,浓水室会出现结垢的现象,结垢后就会影响到晶圆超纯水设备的正常产水,这时就需要对浓水室进行清洗,那么晶圆超纯水设备的EDI浓水室怎样清洗呢?

 

  1、记录晶圆超纯水设备清洗前所有数据。

  2、连接清洗装置,使清洗泵通过浓水管路进入EDI模块再回到清洗水箱,浓水进、出阀开启,关闭EDI淡水进水阀和产水阀。

  3、在晶圆超纯水设备清洗水箱配置2%浓度的盐酸清洗液,启动清洗泵,调节浓水进水阀,以规定的流量循环清洗。

  4、停止清洗泵,排除清洗水箱清洗废液,分离浓水排水阀至地沟,向清洗水箱连续注入清洗,启动清洗泵连续清洗。

  5、打开EDI进水阀和产水阀,同时对两个水室进行冲洗,检测浓水出水侧的水质,直至与进水侧电导率相近。

  6、各个阀门,恢复原始各设备流量数据,恢复EDI各个管路与其他系统的连接。

  7、开启PLC控制电源柜,向EDI模块送电,转入正常运行,并作好初次运行的数据记录。

  以上就是小编为大家先容的全部内容,希翼对大家有所帮助。

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