电子超纯水处理设备出水水质是否能够符合电子行业生产用水标准与设备的设计性能息息相关。电子超纯水处理设备制备超纯水的详细步骤如下：

　　1、原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。

　　2、机械过滤：通过砂芯滤板和纤维柱滤除机械杂质，如铁锈和其他悬浮物等。

　　3、活性炭过滤：活性炭可吸附气体成分，如水中的余氯等等，吸附细菌和某些过滤金属等。氯气能损害反渗透膜，因此应力求除尽。

　　4、反渗透膜过滤：可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。出于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。

　　5、紫外线消毒：借助于短波紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物，如甲醇、乙醇等，使其转变成CO2和水，以降低TOC的指标。

　　6、离子交换：已知混合离子交换床是除去水中离子的决定性手段。借助于多级混合床获得超纯水也并不困难。但水的TOC指标主要来自树脂床。因此高质量的离子交换树脂就成为成功的关键。所谓高质量的树脂，就是化学稳定性特别好，不分解，不含低聚物、单体和添加剂等树脂。

　　7、0.2μm滤膜过滤，以除去水中的颗粒物。应满足各种仪器分析，高纯分析，痕量分析等要求，接近或达到电子级水的要求。

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