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硅片清洗超纯水设备企业分享硅片行业使用超纯水的必要性

文章出处:EDI水处理编辑:EDI水处理发表时间:2019-09-17 11:13:43

  硅片行业使用超纯水主要是用来做什么?为什么硅片行业十分重视超纯水设备的选择?硅片清洗超纯水设备企业为您分享硅片行业使用超纯水的必要性:

 

  量污染会导致硅片器件失效。清洗硅片的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠等,引起严重漏电;颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。所以单晶硅/多晶硅/硅材料/太阳能电池硅片、半导体器件生产中必须用超纯水,目前制取超纯水工艺可分为反渗透+混床超纯水设备,二是反渗透+EDI超纯水设备,这是两种制取硅片清洗超纯水常用的工艺。

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