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硅晶圆行业超纯水设备

　1、进水水质：市政自来水/地下水

　　2、产水水质： 18MΩ

　　3、产水流量： 100m3/h

　　4、所需电源：稳定电源380V 50HZ

　　5、占地面积：根据产水量设计

　项目设计说明：

　　1、纯水系统主要包括预处理系统、RO系统、EDI系统、抛光处理系统以及远程控制系统、监控系统、水量计量系统和其他辅助系统。

　　2、采用中央监控系统控制纯水系统的运行操作，控制模式采用PLC+上位机，采用CPU和服务器无缝冗余。

　　3、不使用国家明令禁止的产品;对化学品的使用应有泄露应急措施。

　　4、各级设备应具有余量、备用。

　　5、系统自动运行，同时也可以切换为手动。

　　6、采用节约用能设计。

　　7、超纯水泵、EDI增压泵、RO高压泵、UF反洗泵、RO供给水泵采用变频器控制。

　　8、原水直接来源于业主自行建设的水箱，不再单独建设原水箱。

　　工艺流程：

硅晶源行业超纯水设备

　　硅晶圆行业超纯水设备详细先容

　　1、预处理系统：预处理系统作为反渗透的前处理，主要目的是去除原水中的悬浮物、胶体、色度、浊度、有机物、硬度等妨碍后续反渗透运行的杂质。

　　2、反渗透系统：反渗透系统承担了主要的脱盐任务。

　　3、精处理系统：精处理系统主要功能是为了进一步除盐和去除水中的残余的TOC、溶解氧等。

　　4、机台弱电系统：由UPS供电，可切换市电和电池逆变两种供电模式，额定功率满足控制系统负荷要求，切断电源独立负载控制系统时续航时间不小于30分钟，电池质保期3年以上。

硅晶源行业超纯水设备

　　设计优势：

　　1、降低能耗，减少化学药品的使用量，综合成本低。

　　2、各个自动运行程序的工艺参数、控制参数可以在线设定。

　　3、自动报警系统可分析各类故障并发出警报，显示故障点和故障状态。

　　4、整体设备运行稳定、自动化程度高、无需人工操作。

　　5、安装杀菌消毒系统，确保出水水质不受二次污染。