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6.0 ~ 9.0 (½¨Òé7.0 ~ 9.0 ) |
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5 ~ 35¡æ |
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< 0.5 ppm |
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< 0.5 ppm¡¡£¬TOC½¨ÒéֵΪÁã |
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≤0.05 ppm (Cl2) , 0.02ppm (O3),Á½ÕßΪÁã×îÓÅ |
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≤0.01ppm |
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< 0.5 ppm |
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